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連續進(jìn)出料等離子體增強回轉設備

簡(jiǎn)要描述:連續進(jìn)出料等離子體增強回轉設備,該款設備是全自動(dòng)Plasma增強CVD系統(PECVD),爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間,所有物料經(jīng)過(guò)的管道都選用非金屬材質(zhì)。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-RP-PECVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2019-01-17
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2892

產(chǎn)品分類(lèi)

Product Category

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詳細介紹

產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)

1. 主要用途

該款設備是全自動(dòng)Plasma增強CVD系統(PECVD),連續可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統,可以低壓條件下實(shí)現工藝,PECVD系統

能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區,輝光相對均勻等效,很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài),該設備爐管可360°旋轉,有助于粉

料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間,所有物料經(jīng)過(guò)的管道都選用非金屬材質(zhì),如:進(jìn)出料腔體選用石

英材質(zhì),推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。

 

2.結構與原理圖:

 

                                             結構圖

 

設備組成:加熱系統,Plasma系統,進(jìn)料系統,出料系統,氣體控制系統,低真空系統,氣料分離系統,過(guò)濾系統,爐管轉動(dòng)系統,電控操作系統。

(1)加熱系統:

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研

究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電

壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無(wú)須操作人員的干預,可

自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號,同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

高溫度

1200度

使用溫度

1100度

設備尺寸

長(cháng)*寬*高 2100*600*1200mm

爐管尺寸

Ø60*420*2+Ø100*360mm*

爐管旋轉速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,

操作界面為10”液晶觸摸屏控制

加熱長(cháng)度

200mm+200mm

恒溫長(cháng)度

250mm

加熱元件

電阻絲

 

(2)Plasma系統:

 

本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應特征,從根

本上改變了反應體系的能量供給方式。

 

(3)進(jìn)料系統:

 

送料系統速度連續可調,停止送料且爐體傾斜大時(shí),物料不會(huì )從送料系統外漏,送料系統方便拆卸,拆卸后可手動(dòng)加料,設備可正常運行。

 

(4)出料系統:

 

出料系統在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。

 

(5)氣體控制系統:

 

該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨立控制,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)的機柜內,由超潔雙拋不銹

鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

 

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

*路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

準確度

±1.5%F.S

線(xiàn)性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

 


(6)低真空系統:

該系統配備真空機械泵,可以抽真空,可以讓設備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應。

 

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

外形尺寸

600×600×600mm

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

 

(7)氣料分離系統:

該系統可以讓設備在充氣體保護或者抽真空時(shí),實(shí)現氣體與物料的分離。

(8)過(guò)濾系統:

該系統可防止物料進(jìn)入真空泵,保證真空泵的正常運行。

(9)爐管轉動(dòng)系統:

爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng),轉速在0-60r/min連續可調,且能在60r/min轉速下長(cháng)時(shí)間運行。

 

 

3.技術(shù)指標:

 

(1)該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

(2)整個(gè)爐子和送料、收料系統能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調;

(3)送料系統送料速度連續可調,停止送料且爐體大傾斜時(shí),物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸,拆卸之后可以手動(dòng)加料,設備可

正常運行。

(4)爐管回轉穩定,不會(huì )上下左右跳動(dòng);轉速在0~60r/min連續可調,能在60r/min轉速下連續*運轉(>24h)。

(5)爐子轉速,加料速度,傾斜角度,真空度,氣體流量,溫度,運行時(shí)間,等離子體功率等參數都用數字顯示,并在運行過(guò)程記錄設備整個(gè)

運行軌跡及上述參數(在工控及獨立電腦上均能實(shí)現);

(6)設備運行可分為手動(dòng)模式與自動(dòng)模式;自動(dòng)模式下可實(shí)現高度自動(dòng)化運行,所有參數程序設定好后自動(dòng)運行:可實(shí)現按照設定程序連續工

作,可設置多工作段不同參數,并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作;

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