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非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統

簡(jiǎn)要描述:非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統
1.前驅體灌溫度可達400℃;
2.溫度獨立可調;
3.固態(tài)或液態(tài)前驅體在一定溫度下蒸發(fā)后通過(guò)惰性氣體帶入反應區域參與的一些CVD反應。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-S-SL-CVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2020-06-23
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1090

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詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域綜合

主要特點(diǎn)

  非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統由電動(dòng)滑軌式管式爐、三路供氣系統、真空及過(guò)濾系統、前驅體鼓泡裝置,氣體預熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅體為非氣態(tài)源,如固態(tài)或液態(tài)前驅體,前驅體灌溫度可達400℃,且溫度獨立可調,固態(tài)或液態(tài)前驅體在一定溫度下蒸發(fā)后通過(guò)惰性氣體帶入反應區域參與的一些CVD反應。

非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統設備結構

1.    左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換;提高基體上涂層的均勻性;

2.    爐體底部在電機帶動(dòng)下可在導軌上水平移動(dòng),移動(dòng)速度根據工藝需要可設置?! ?/span>

3.    采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制,參數設置和操作直觀(guān)方便,參數自動(dòng)記錄保持。

4.    供氣系統可以按照客戶(hù)的實(shí)驗需求配置幾路質(zhì)量流量計,流量計的量程可選,真空系統也可以根據客戶(hù)的需求選擇配置各種真空泵。

技術(shù)參數:

加熱系統

Most高溫度

1200℃(1 hour)

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ40*800mm(爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。)

爐膛材料

高純氧化鋁纖維

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

?30段可編程控溫,PID參數自整定,

‚操作界面為10”工控電腦,內置PLC控制程序

加熱長(cháng)度

150mm

恒溫長(cháng)度

70mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

220V,50Hz

額定功率

2KW

 

三路質(zhì)子流量控制系統

連接頭類(lèi)型

Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;(可根據用戶(hù)要求定制

準確度

±1.5%

線(xiàn)性

±0.5~1.5%

重復精度

±0.2%

響應時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

Most大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

真空機組

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)排氣口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

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