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雙爐PECVD

簡(jiǎn)要描述:雙爐PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統)系統,有多路質(zhì)量流量計系統(進(jìn)口流量計),真空機組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時(shí)擴大工藝的使用條件,滿(mǎn)足更多的工藝實(shí)驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀(guān)察。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-SSL-PECVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-02-02
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1579

產(chǎn)品分類(lèi)

Product Category

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詳細介紹

品牌其他品牌升溫速度(達到最高溫)30/min
加熱方式電阻絲控溫精度1℃
最高溫度1200℃價(jià)格區間2萬(wàn)-5萬(wàn)
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油

產(chǎn)品特點(diǎn):

PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統)系統,有多路質(zhì)量流量計系統(進(jìn)口流量計),真空機組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時(shí)擴大工藝的使用條件,滿(mǎn)足更多的工藝實(shí)驗要求,如石墨烯、納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀(guān)察。

技術(shù)參數:

雙溫場(chǎng)滑軌爐

主要特點(diǎn):

滑軌式快速升溫爐是專(zhuān)為生長(cháng)石墨烯研制的石墨烯生長(cháng)爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗,這款設備是根據開(kāi)啟式真空管式爐改裝而來(lái)的,操作時(shí)可將實(shí)驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

技術(shù)參數:

額定功率(KW):4

額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

溫度(℃):1200(1 hour)

持續工作溫度(℃):1100

升& 降溫速率(℃/S):≤20

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

加熱區長(cháng)度(mm) :230+230

恒溫區長(cháng)度(mm):100+100

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

認證標準:

密封系統:爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進(jìn)氣端配置兩個(gè)Φ6mm卡套進(jìn)氣口。

凈重(Kg):80

射頻電源500W

 

信號頻率:13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍:L5W-500W

反射功率:200W

射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

功率穩定度:±0.1%

諧波分量:≤-50dbc

供電電壓:單相交流(187V-253V)

頻率50/60HZ

整機效率:>=70%

功率因素:>=90%

冷卻方式:強制風(fēng)冷

供氣系統

 

工作電壓:185~245V 50HZ

輸出功率:18W

流量計標準量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮氣標定,量程可選)

工作溫度:5~45℃

工作壓差:0.1~0.5MPa

壓力:3MPa

準確度:±1.5% FS

測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

針閥:316不銹鋼

混氣罐:Φ80×120mm

截止閥:Φ6mm”316不銹鋼針閥

尺寸:600×600×650 mm

低真空機組VAU-02

 

空氣相對濕度: ≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

功率:500瓦

抽氣速率:8m³/h

極限真空:4X10-2Pa

實(shí)驗真空度:1.0X10-1Pa

容油量: 1.1L

進(jìn)氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm

 

 

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