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前端預熱滑軌PECVD

簡(jiǎn)要描述:前端預熱滑軌PECVD
安徽貝意克設備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬(wàn)平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設有貝意克工程設計中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實(shí)驗室等研發(fā)公共服務(wù)平臺。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-09-30
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1795

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品牌貝意克價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子
前端預熱滑軌PECVD前端預熱滑軌PECVD

管式爐

爐管尺寸:外徑φ50

加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)

加熱區長(cháng)度:440mm

恒溫區長(cháng)度:200mm(±1℃)

工作溫度:1100℃

最高溫度:1200℃

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度:±1℃

升溫速度:20℃/min

爐門(mén)結構:開(kāi)啟式

工作電源:AC220V/50Hz

額定功率:3KW

射頻電源

信號頻率:13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍:5W-500W

最大反射功率:200W

射頻輸出接口:5Ω,N-type,female

功率穩定度:±0.1%

諧波分量:-50dbc

供電電壓:?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V),頻率50/60Hz

整機效率:≥70%

功率因素:≥90%

冷卻方式:強制風(fēng)冷

供氣系統

外形尺寸:600*600*650mm

連接頭類(lèi)型:雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm

準確度:±1.5%

線(xiàn)性:±0.5%~1.5%

重復精度:±0.2%

響應時(shí)間:氣特性:1~4Sec,電特性:10Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5MPa

最大壓力:3MPa

接口:φ6,1/4"

顯示:4位數字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管:φ6

壓力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止閥:φ6

低真空機組

技術(shù)參數:

功率:0.4KW(4級)

極限壓力:5*10-1(Pa)

外型尺寸:600*600*650mm

電阻真空計參數:

1.配用規管:電阻規

2.測量范圍:1055*10-1Pa

3.測量路數:1路

4.控制范圍:5*1035*10-1Pa

5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負載能力AC220V/3A(或DC28V/3A)無(wú)感負載

6.電源:90-260V/50Hz或220V±10%  50Hz

7.功耗:20W

預熱爐

工作溫度:350℃

最高溫度:400℃

最快升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制


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