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智能型滑軌式CVD系統

簡(jiǎn)要描述:BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統。該設備主要分為五大部分:加熱系統,真空系統,氣體控制供給系統,自動(dòng)控制移動(dòng)系統,控制軟件系統組成。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-SL-L-CVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-02-21
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:343

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介.jpg

BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統。該設備主要分為五大部分:加熱系統,真空系統,氣體控制供給系統,自動(dòng)控制移動(dòng)系統,控制軟件系統組成。爐膛為440mm溫區爐膛,配K型熱電偶,單點(diǎn)控溫;加熱爐置于滑軌上,可手動(dòng)在規定的范圍內任意滑動(dòng)到想要的位置并用限位器固定??;氣路系統采用4路流量計控制,經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合,再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭;左端法蘭端蓋上預留1路進(jìn)氣口,內部有不銹鋼導氣管,可將氣體導入加熱區位置。該設備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。


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額定功率

3KW(加熱爐膛)

額定電壓

220V  50/60Hz

最高溫度

1200℃

持續工作溫度

≤1100℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

加熱區長(cháng)度

440mm

熱電偶

K型熱電偶

控溫方式

10寸觸液晶屏觸摸控制,模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

爐體尺寸

220*750*1450mm(長(cháng)*寬*高)

設備凈重

300KG

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1650mm

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